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VCSEL激光器(垂直腔面發(fā)射激光器) 簡介- 筱曉上海光子

更新時間：2021-12-02

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垂直腔面發(fā)射激光器（Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser），簡稱VCSEL，是一種半導(dǎo)體激光器，其激光垂直于頂面射出。以砷化鎵半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)研制，不同于LED（發(fā)光二極管）和LD（激光二極管）。結(jié)構(gòu)由鏡面，有源層和金屬接觸層組成。兩個發(fā)射鏡分別為P型，N型布拉格發(fā)射器。有源區(qū)有量子肼組成，在P型DBR外表面制作金屬接觸層，形成歐姆接觸，并在P型DBR上制作一個圓形出口，輸出激光。它具有較小的遠(yuǎn)場發(fā)散角，發(fā)散角光束窄且圓；并且閾值電流低，調(diào)制頻率高，能達(dá)到300KHz。通過改變激光電流跟溫度可以實現(xiàn)波長調(diào)諧。內(nèi)置TEC和PD的包裝，它專為高速光纖通信而設(shè)計。

VCSEL激光器優(yōu)勢

7 Pin小尺寸

非球面透鏡帽

集成TEC控制溫度穩(wěn)定

輸出功率1.6mW

單模，可以通過C-L波段

具有寬譜調(diào)諧范圍：>8nm

快速波長調(diào)諧（~100KHz）

VCSEL激光器結(jié)構(gòu)

VCSEL激光的產(chǎn)生主要由三部分組成，即激光工作物質(zhì)、泵浦源和光學(xué)諧振腔。利用泵浦源對工作物質(zhì)進(jìn)行激勵，形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，發(fā)出激光。在通過底部和頂部反射鏡組成的諧振腔，在激光腔內(nèi)放大振蕩，并從頂部反射鏡輸出，輸出的光線只集中在中間不帶有氧化層的部分輸出，形成了垂直腔面的激光發(fā)射，從而得到穩(wěn)定，持續(xù)，有一定功率的高質(zhì)量激光。

技術(shù)參數(shù)

條件：P=20°C，IO P=2.0mA，除非另有說明(P=芯片背面溫度，由TEC控制)